半导体气体传感器:气体敏感元件,大多是以金属氧化物半导体为基础材料.当被测气体在该半导体表面吸附后,引起其电学特性(例如电导率)发生变化.目前流行的定性模型是:原子价控制模型,表面电荷层模型,晶粒间界势垒模型.
半导体气敏元件的特性参数（1）气敏元件的敏捷度是表征气敏元件对于被测气体的敏感程度的指标.它表示气体敏感元件的电参量（如电阻型气敏元件的电阻值）与被测气体浓度之间的允从关系.（2）气敏元件的电阻值:将电阻型气敏元件在常温下洁净空气中的电阻值,称为气敏元件(电阻型)的固有电阻值,表示为Ｒａ.一般其固有电阻值在(103～105)Ω范围.测定固有电阻值Ｒａ时, 要求在洁净空气环境中进行.因为经济地舆环境的差异,各地区空气中含有的气体成分差别较大,即使对于统一气敏元件,在温度相同的前提下,在不同地区进行测定,其固有电阻值也都将泛起差别.因此,在洁净的空气环境中进行丈量.